-
1 экспонирование фоторезистивной маски
Большой англо-русский и русско-английский словарь > экспонирование фоторезистивной маски
-
2 mask exposure
экспонирование ( резиста) через фотошаблон, экспонирование маски -
3 mask exposure
экспонирование ( резиста) через фотошаблон, экспонирование маскиThe New English-Russian Dictionary of Radio-electronics > mask exposure
-
4 mask exposure
-
5 mask exposure
2) Электроника: экспонирование маски, экспонирование через фотошаблон3) Микроэлектроника: экспонирование фоторезистной маски4) Макаров: экспонирование резиста через фотошаблон -
6 mask exposure
Большой англо-русский и русско-английский словарь > mask exposure
-
7 mask exposure
-
8 mask exposure
English-Russian dictionary of microelectronics > mask exposure
-
9 фотолитография
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим. -
10 photolithography
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.
См. также в других словарях:
Фазосдвигающие маски — Обычный и фазосдвигающий фотошаблоны Фазосдвигающие маски маски (фотошаблоны), позволяющие улучшить процесс фотолитографии за счет изменения фазы между соседними интерферирующими световыми потоками. При экспонировании близкорасположенных… … Википедия
Степпер — Два степпера ( … Википедия
Блуждающая маска — Схема второй экспозиции по методу блуждающей маски. А непроявленная негативная плёнка со скрытым изображением актёра; B проявленная плёнка с силуэтной маской; C объектив; D фоновый ландшафт Блуждающая маска разновидность киноплёночных т … Википедия
Вытеснение изображения — приём монтажного перехода (в кинофильме) от одного изображения к другому, когда на протяжении нескольких кадров изображение последующего кадра постепенно заменяет (вытесняет) изображение предыдущего. В. и. обычно получают покадровой… … Большая советская энциклопедия
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Ф. обычно включает: 1) нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки; 2) сушку фоторезиста… … Химическая энциклопедия
Нерезкое маскирование — Необработанное изображение (вверху); изображение, обработанное с помощью нерезкого маскирования (в центре); изображение с явно завышенными параметрами (внизу) на профессиональном жаргоне «перешарпленное» Нерезкое маскирование… … Википедия
Unsharp mask — Необработанное изображение (вверху); изображение, обработанное с помощью нерезкого маскирования (в центре); изображение с явно завышенными параметрами (внизу) на профессиональном жаргоне «перешарпленное» Нерезкое маскирование (англ. Unsharp… … Википедия
Unsharp masking — Необработанное изображение (вверху); изображение, обработанное с помощью нерезкого маскирования (в центре); изображение с явно завышенными параметрами (внизу) на профессиональном жаргоне «перешарпленное» Нерезкое маскирование (англ. Unsharp… … Википедия
Контурная резкость — Необработанное изображение (вверху); изображение, обработанное с помощью нерезкого маскирования (в центре); изображение с явно завышенными параметрами (внизу) на профессиональном жаргоне «перешарпленное» Нерезкое маскирование (англ. Unsharp… … Википедия
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… … Физическая энциклопедия
литография оптическая — Термин литография оптическая Термин на английском optical lithography Синонимы фотолитография, photolitigraphy Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, литография, фоторезист Определение … Энциклопедический словарь нанотехнологий
